2021年廣東省半導(dǎo)體及集成電路公共服務(wù)平臺(tái)和創(chuàng)新平臺(tái)認(rèn)定補(bǔ)貼

一、重點(diǎn)支持方向

重點(diǎn)支持企業(yè)、事業(yè)單位、高校、科研機(jī)構(gòu)等法人實(shí)體投資建設(shè)的半導(dǎo)體及集成電路領(lǐng)域公共服務(wù)和創(chuàng)新基礎(chǔ)設(shè)施，主要包括：

(一)芯片設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)和創(chuàng)新平臺(tái)。芯片設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)，向社會(huì)提供EDA工具服務(wù)、MPW(多項(xiàng)目晶圓加工)服務(wù)、設(shè)計(jì)外包服務(wù)、測(cè)試驗(yàn)證服務(wù)、IP分析交易服務(wù)、人才培訓(xùn)服務(wù)等。芯片設(shè)計(jì)工具軟件研發(fā)和測(cè)試平臺(tái)，開展EDA(電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化)工具軟件研發(fā)測(cè)試，開展EDA云上架構(gòu)和應(yīng)用AI技術(shù)研發(fā)，開展TCAD、封裝EDA工具開發(fā)等。芯片設(shè)計(jì)研發(fā)、模擬仿真和測(cè)試平臺(tái)。開展底層算法與架構(gòu)技術(shù)研發(fā)，開展通用芯片、專用芯片研發(fā)、模擬仿真和測(cè)試。

(二)芯片產(chǎn)品檢測(cè)認(rèn)證平臺(tái)。向社會(huì)提供部件及終端產(chǎn)品模擬、測(cè)試驗(yàn)證、產(chǎn)品質(zhì)量測(cè)評(píng)、環(huán)境適應(yīng)性評(píng)價(jià)、安全可靠性認(rèn)證等服務(wù)。

(三)芯片生產(chǎn)制造關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)、中試和測(cè)試平臺(tái)。開展FinFET特色工藝制程、先進(jìn)工藝制程開發(fā)，探索開展FDSOI等新技術(shù)路徑開發(fā)。

(四)先進(jìn)封裝測(cè)試研發(fā)和工程化驗(yàn)證平臺(tái)。開展晶圓級(jí)封裝、系統(tǒng)級(jí)封裝、凸塊、倒裝、硅通孔、面板級(jí)扇出型封裝、三維封裝、真空封裝等先進(jìn)封裝技術(shù)，以及脈沖序列測(cè)試、MEMS探針、IC集成探針卡等先進(jìn)晶圓級(jí)測(cè)試技術(shù)開發(fā)，開展超高速光通信核心器件與模塊封測(cè)技術(shù)開發(fā)等。

(五)關(guān)鍵材料與器件研發(fā)及工程化驗(yàn)證平臺(tái)。開展氮化鎵、碳化硅、氧化鋅、氧化鎵等化合物半導(dǎo)體材料、器件和模塊的開發(fā)，開展氟聚酰亞胺、光刻膠等電子化學(xué)品材料以及納米級(jí)陶瓷粉體、微波陶瓷粉體等元器件關(guān)鍵材料研發(fā)。

(六)芯片生產(chǎn)制造關(guān)鍵設(shè)備及零部件研發(fā)及工程化驗(yàn)證平臺(tái)。開展光學(xué)和電子束光刻機(jī)關(guān)鍵部件、先進(jìn)封裝技術(shù)專用設(shè)備研發(fā)，開展缺陷檢測(cè)設(shè)備、激光加工設(shè)備、半導(dǎo)體器件巨量組裝設(shè)備等整機(jī)設(shè)備研發(fā)，以及高精密陶瓷零部件、射頻電源、高速高清投影鏡頭等設(shè)備關(guān)鍵零部件研發(fā)。

(七)新一代半導(dǎo)體及集成電路綜合研發(fā)平臺(tái)。圍繞工具軟件、芯片架構(gòu)、芯片設(shè)計(jì)、特色工藝制程、半導(dǎo)體新材料、生產(chǎn)設(shè)備核心部件等環(huán)節(jié)，開展關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，積極開展混合集成、異構(gòu)集成等技術(shù)研發(fā)，加強(qiáng)多種技術(shù)路線探索。

一個(gè)平臺(tái)項(xiàng)目可包括上述多個(gè)方向。

二、申報(bào)條件

(一)承擔(dān)單位應(yīng)在廣東省內(nèi)注冊(cè)，具有獨(dú)立法人資格。

(二)已被有關(guān)部門認(rèn)定為國(guó)家級(jí)、省級(jí)平臺(tái)。

(三)項(xiàng)目建設(shè)周期不超過三年，已完成的固定資產(chǎn)投資權(quán)屬清晰，形象進(jìn)度不超過50%。

(四)建設(shè)項(xiàng)目要有明確可行的發(fā)展思路和建設(shè)目標(biāo)，投資方案合理，管理和運(yùn)行機(jī)制規(guī)范。

(五)項(xiàng)目申報(bào)時(shí)應(yīng)完成項(xiàng)目備案等立項(xiàng)手續(xù)，同時(shí)加快環(huán)評(píng)、城鄉(xiāng)規(guī)劃、用地審批等工作進(jìn)度，確保投資計(jì)劃下達(dá)前完成前期工作。

(六)項(xiàng)目承擔(dān)單位要對(duì)申報(bào)材料的真實(shí)性負(fù)責(zé)，并出具承諾書，承諾其所報(bào)材料尤其是投資規(guī)模的真實(shí)性，承擔(dān)因上報(bào)虛假信息造成的相應(yīng)后果，如取消申報(bào)資格、納入失信名單等。